放置地點(diǎn)

繼續(xù)教育學(xué)院304

負(fù)責(zé)人

李俊

儀器生產(chǎn)廠(chǎng)家及型號(hào)

廣東艾維特 FS-Pro LABIV-4 7-LT250-W30-FW6

儀器研究方向

有機(jī)光電半導(dǎo)體材料

儀器主要功能用途及參數(shù)

一、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

1. 技術(shù)指標(biāo)系統(tǒng)具備不少于3個(gè)高精度源測(cè)量單元（SMU）單元 及1個(gè)預(yù)留接口; 

2. SMU 可進(jìn)行快速 I-V-T 采樣，采樣率可達(dá) 1.8M，存儲(chǔ)量可達(dá)≥10 萬(wàn)個(gè)點(diǎn); 

3. SMU 的最大電壓源≥200 V，最小電壓測(cè)量分辨率≤0.2uV，電壓測(cè)量精度≤0.016%+30mV; 

4. 最大直流功率≥20W，最大脈沖功率≥400W，脈沖模式下的最短脈沖

5. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀主機(jī)含嵌入式 PC：操作系統(tǒng)至少要 Windows 10 或者以上，圖形化全套測(cè)試軟件，至少要有一個(gè)接口可以外接顯示器；

6. 最大直流功率≥20 W，最大脈沖功率≥400 W，脈沖模式下的最短脈沖寬度≤50μs;

二、探針平臺(tái)（包含顯微鏡）

1. 滿(mǎn)足 I-V/C-V，PIV 測(cè)試，光電測(cè)試等，最大可用于 4 英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試，同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線(xiàn)性移動(dòng)；

2. 水平旋轉(zhuǎn)：可360 度旋轉(zhuǎn)；可微調(diào) 15 度，精度≤ 0.1 度，帶角度鎖死裝置；

3. X-Y 移動(dòng)行程:≥4 英寸*4 英寸；X-Y移動(dòng)精度 ≤10 微米；

4. 樣品固定:真空吸附；

5. 背電極測(cè)試:樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，直徑約為4 mm 插孔可接背電極；

6. 光學(xué)系統(tǒng): 單筒顯微鏡 / 體式顯微鏡 放大倍數(shù)≤16X~≥100X； 

7. 移動(dòng)行程：水平方向繞立柱 360 度旋轉(zhuǎn)，Z 軸 50.8 mm。

三、探針座

1. 尺寸: ≤115 mm 長(zhǎng)*100 mm 寬*112 mm 高；

2. 磁力吸附:帶磁力開(kāi)關(guān)；

3. X-Y-Z 方向的移動(dòng)行程分別為 ≥12 mm； 

4. 瑞士制造精密牙具 移動(dòng)精度 ≤0.7 微米。 

測(cè)試內(nèi)容及領(lǐng)域

器件開(kāi)關(guān)特性、遷移率和穩(wěn)定性等。

注意事項(xiàng)（儀器使用和樣品制備）

1. 預(yù)約提前兩天，上機(jī)須經(jīng)過(guò)培訓(xùn)。

2. 樣品尺寸不超過(guò)4英寸。

3. 注意電壓安全、環(huán)境控制、偏壓應(yīng)力和封裝保護(hù)。

主要配件及拓展功能

1. 管狀?yuàn)A具共3套；

2. 管狀?yuàn)A具的要求：漏電精度＜100fA，最大可耐電流≥10 A，最高可耐電壓≥1500 V，并配有≥2.1 m的三軸雙屏蔽線(xiàn)纜，接頭和客戶(hù)設(shè)備配套。

3. 靜音無(wú)油真空泵1臺(tái)；

4. 鎢鋼探針一套；

5. CCD相機(jī)1臺(tái)；CCD相機(jī)的參數(shù)須滿(mǎn)足：≥1200萬(wàn)像素、分辨率≤2.8 微米*2.8 微米、圖片分辨率≥1920x1080、動(dòng)態(tài)反應(yīng)速率≥60 幀/秒和可實(shí)現(xiàn)無(wú)線(xiàn)控制。

6. 屏蔽箱1個(gè)；

7. 水平光纖保持架1個(gè)；

8. 垂直光纖保持架1個(gè)；

9. 單波長(zhǎng)可調(diào)單色光源系統(tǒng)一套；光譜范圍 ≤200 nm~≥2000 nm，電子快門(mén)的精確度 ≤1 ms，全自動(dòng)控制。

10. 雙光柵掃描單色儀1臺(tái)：最小步距:≤0.0045 nm；光柵有效使用面積:≥30 mm×30 mm。

11. 光源 1 臺(tái) ：電功率≥300 W, 光譜范圍 ≤200nm~≥2500nm, 最高光功率≥4000 mw/cm²。并配有六檔電動(dòng)濾光片輪 1 件（配 3 片濾光片），在測(cè)試過(guò)程中自動(dòng)控制濾光片的更換。

12. 測(cè)試軟件1套。

儀器操作指引：

     見(jiàn)操作指南文件。