儀器主要功能用途及參數(shù)

主要功能用途：用于蒸發(fā)鍍膜，用于高效率OLED器件的設(shè)計(jì)與制備、光電器件性能分析、光電能量轉(zhuǎn)換機(jī)理、半導(dǎo)體薄膜表面與界面的研究。

核心參數(shù)：

樣品架系統(tǒng)：樣品盤(pán)可容納4個(gè)32mm ?? 32mm的蒸鍍基片，可真空下切換掩膜；基片盤(pán)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30轉(zhuǎn)/分可調(diào)；

蒸發(fā)沉積系統(tǒng)：16組蒸發(fā)源，可蒸鍍有機(jī)和金屬材料；4套可編程直流電源，滿(mǎn)足4源共蒸；

真空系統(tǒng)：極限真空優(yōu)于3.5??10^-5 Pa；從常壓到5??10^-4 Pa不超過(guò)15min；

手套箱系統(tǒng)：水氧含量小于1ppm；

測(cè)試內(nèi)容及領(lǐng)域：

有機(jī)、金屬材料真空鍍膜、器件制備

應(yīng)用領(lǐng)域：

光電技術(shù)（OLED顯示/照明、有機(jī)/鈣鈦礦太陽(yáng)能電池）

微電子（薄膜晶體管、金屬電極、超導(dǎo)器件）

光學(xué)涂層（增透膜、高反膜、濾光片）

前沿科研（低維材料、量子點(diǎn)器件、表面科學(xué)等）

注意事項(xiàng)（儀器使用和樣品制備）

一、預(yù)約測(cè)試與使用

1. 培訓(xùn)：操作者必須經(jīng)過(guò)系統(tǒng)性的正規(guī)培訓(xùn)，并通過(guò)考核獲得獨(dú)立操作資格。未經(jīng)許可嚴(yán)禁操作儀器。

2. 提前預(yù)約：嚴(yán)格按照實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng)提前預(yù)約，并遵守時(shí)間安排。完成制備后，及時(shí)在系統(tǒng)中結(jié)束預(yù)約。溝通與準(zhǔn)備：預(yù)約時(shí)需明確告知蒸鍍材料、蒸鍍厚度等信息，以便管理員確認(rèn)方法兼容性。

二、 樣品制備注意事項(xiàng)

1. 樣品本身

相容性：樣品必須滿(mǎn)足儀器的蒸鍍要求，制備樣品時(shí)需提前做膜厚標(biāo)定，保證樣品制備膜層與需求一致。

2. 上機(jī)前準(zhǔn)備：材料及樣品準(zhǔn)備完成后放入儀器中，確保儀器運(yùn)行后真空度低于5??10^-4 Pa后進(jìn)行蒸鍍工作。

3. 制備結(jié)束：實(shí)驗(yàn)完成后，確認(rèn)材料源降溫結(jié)束后充氮?dú)馄普婵眨油瓿申P(guān)閉腔門(mén)。

主要配件及拓展功能

儀器操作指引：（選填）（操作指南文件或操作視頻二維碼）

       具體儀器操作，請(qǐng)聯(lián)系管理人員查閱儀器說(shuō)明書(shū)。